等离子体按粒子温度可分为平衡态(电子温度=离子温度)与非平衡态(电子温度>>离子温度)两类。
非平衡态等离子体电子温度可上万度,离子及中性离子可低至室温,即体系表观温度仍很低,故称“低温等离子体”,一般由气体放电产生。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术,低温等离子体处理废气的原理为:
当外加电压达到气体的放电电压时,气体被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用,使污染物分子在极短的时间内发生分解,以达到降解污染物的目的。
所谓等离子体是继固体、气体、液体三态后,列为物质的第四态,由正离子、负离子、电子和中性离子组成,因体系中正负电荷总数相等,故称为“等离子体”。